[发明专利]具有孔口的抛光垫在审
| 申请号： | 201280045294.9 | 申请日： | 2012-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN103796797A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | W·C·阿里森;D·斯科特;R·巴贾杰 | 申请（专利权）人： | 内克斯普拉纳公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/26;B24B37/22 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 殷玲;吴鹏 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了具有孔口的抛光垫。还描述了制作具有孔口的抛光垫的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 孔口 抛光 | ||
【主权项】：
一种用于抛光衬底的抛光设备，所述抛光设备包括：抛光垫，所述抛光垫具有抛光表面和背面，所述抛光表面包括槽图案；孔口，所述孔口从所述背面穿透到所述抛光表面设置在所述抛光垫中；和粘合片，所述粘合片设置在所述抛光垫的所述背面上而不是所述孔口中，所述粘合片在所述抛光垫的所述背面提供用于所述孔口的不可渗透的密封。
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