[发明专利]具有通过磁控管溅射的银层的镜子有效
申请号: | 201280045385.2 | 申请日: | 2012-09-14 |
公开(公告)号: | CN103797150B | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | C.莱德尔;V.莫罗 | 申请(专利权)人: | 法国圣戈班玻璃厂 |
主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C03C17/36;G02B5/08;F24J2/50 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 黄念,林森 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及用于制造镜子的方法,包括在包含稀有气体的沉积气氛中从银靶通过磁控管阴极溅射在基材上沉积银层,其中沉积气氛的压力乘以在靶和基材之间的距离的乘积为1.5‑7 Pa.cm。由此获得在295‑2500nm具有高于70%的非常高反射率(根据ISO 9050标准测量,空气质量1.5)的镜子。它们特别地适合于反射太阳光以收集太阳能。 | ||
搜索关键词: | 具有 通过 磁控管 溅射 镜子 | ||
【主权项】:
用于制造镜子的方法,该镜子在295‑2500nm具有高于85%的反射率,该反射率根据ISO 9050标准在空气质量1.5时进行测量,该方法包括在包含稀有气体的沉积气氛中从银靶通过磁控管阴极溅射在基材上沉积银层,特征在于沉积气氛的压力乘以在靶和基材之间的距离的乘积为2.5‑6 Pa.cm,并且银层的沉积时间使得银层具有100‑200纳米的厚度。
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