[发明专利]具有可移动的栅的微机械的传感器装置和相应的制造方法在审
| 申请号： | 201280047161.5 | 申请日： | 2012-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN103827672A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | A.法伊 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/12;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李永波;杨国治 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有可移动的栅的微机械的传感器装置和一种相应的制造方法。具有可移动的栅的传感器装置包括具有可移动的栅(7)的场效应晶体管(2)，可移动的栅通过空腔(11)与信道区(K)分开，其中，信道区(K)用栅隔离层(3)覆盖。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 微机 传感器 装置 相应 制造 方法 | ||
【主权项】：
具有可移动的栅的微机械的传感器装置，其包括:具有可移动的栅(7)的场效应晶体管(2)，所述可移动的栅通过空腔(11)与信道区(K)分开；其中，所述信道区(K)用栅隔离层(3)覆盖。
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