[发明专利]高通量激光烧蚀方法和用于在太阳能电池中形成接触孔的结构

摘要

本发明提供了通过激光烧蚀而形成的太阳能电池（300）的接触孔，以适应多种太阳能电池设计。通过引入具有例如比上覆的金属接触更窄的宽度的线性基极扩散区，从而改进了太阳能电池烧蚀过程的通量。通过具有到达基极扩散区的接触孔也可改进太阳能电池烧蚀过程的通量，所述到达基极扩散区的接触孔垂直于到达发射极扩散区的接触孔。为了允许连续激光扫描，可将激光阻挡层设置于层间介质上，以防止在某些区域上形成接触孔，所述某些区域为例如其中一种极性的金属接触可向相对极性的扩散区进行电分流的区域。在混合设计中，太阳能电池可具有线性和散布式基极扩散区这两者。可使用电光调制器以允许在散布的基极扩散设计中进行连续激光扫描。

主权项

1.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：形成多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者，所述多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者被构造为收集所述太阳能电池中的多数电荷载流子；在所述多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者上和多个发射极扩散区上形成层间介质层；使用激光以形成通过所述层间介质层的多个接触孔，从而暴露出在所述多个线性基极扩散区的条或散布的基极扩散区的条中的至少一者中的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者；并且在所述的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者上形成金属接触，所述金属接触通过所述多个接触孔中的接触孔电连接至所述的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者，其中，在所述层间介质层上形成激光阻挡层，形成通过所述激光阻挡层中的单个开口和使用激光连续扫描形成所述层间介质层的多个接触孔，并且其中所述金属接触通过所述层间介质层和所述激光阻挡层中的单个开口电连接至所述的一个线性基极扩散区的条或点中的至少一者。