[发明专利]飞行时间型质量分析装置

摘要

制作层叠体(110)，该层叠体(110)是将金属薄板(113)和相互平行的两个角形棒状的金属构件(112)交替多重地重叠、还用金属厚板(111)将其两侧夹为三明治状、并通过扩散接合将各抵接面接合而一体化形成的。通过在与金属薄板(113)正交的平面上以规定间隔切断该层叠体(110)，来完成栅格状电极(100)，该栅格状电极(100)将金属薄板(113)作为格棂部(101)，将金属构件(112)作为间隔物，将所形成的空隙作为开口(102)。根据该结构，能够在将格棂部(101)的宽度、间隔保持得小的同时，增大格棂部(101)的厚度而提高机械强度。另外，能够抑制电场从飞行空间侧向离子加速区域侧的渗透，因此还能够防止在离子导入时离子从离子加速区域向飞行空间侧的流出。

主权项

一种飞行时间型质量分析装置，对离子进行加速而将该离子导入到飞行空间，检测在飞行于该飞行空间的期间根据质量电荷比而分离出的离子，该飞行时间型质量分析装置具备栅格状电极以形成使离子通过并且对该离子进行加速和/或减速的电场，该栅格状电极具有使处于离子束的截面内的不同位置的离子分别通过的多个开口，该飞行时间型质量分析装置的特征在于，上述栅格状电极是具有上述开口的短边方向的大小的2倍以上的厚度的构造体。