[发明专利]质谱仪无效
| 申请号： | 201280049341.7 | 申请日： | 2012-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103875057A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 岩崎光太 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J37/252;H01J49/10;H01J49/40 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了在质谱分析中解决由于落在一次射束的阴影下的凸凹表面的阴影部分导致的发射离子的分布与测量对象表面上的物质分布相互不同的问题，本装置的一次离子光学系统（12）包括被配置为以一次离子在飞行的过程中与二次离子的飞行空间相交的方式偏转一次离子的偏转单元（7）。 | ||
| 搜索关键词： | 质谱仪 | ||
【主权项】：
一种质谱仪，包括：平台，所述平台用于在其上放置测量对象；一次离子产生器，所述一次离子产生器被配置为产生要飞行的一次离子；一次离子光学系统，所述一次离子光学系统被配置为将一次离子引向测量对象并用一次离子照射测量对象；检测单元，所述检测单元被配置为检测从测量对象发射的二次离子；和二次离子光学系统，所述二次离子光学系统被配置为将二次离子引向检测单元，其中，一次离子光学系统包含偏转单元，所述偏转单元被配置为以使得一次离子在飞行过程中与二次离子的飞行空间相交的方式偏转一次离子。
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