[发明专利]基板移载系统及基板移载方法

摘要

本发明包括基板载板（21）及基板搭载装置（10），所述基板载板（21）具有在垂直方向上延伸且定义出在水平方向上排列的多个矩形基板搭载区域（211）的搭载面（210），且在各个基板搭载区域（211）的外周的左边、右边及下边分别配置着左边固定销、右边固定销及下边固定销，所述基板搭载装置（10）包括：基板保持机构（15），将多个矩形基板（100）以各自的主面配置在同一平面水平的状态进行保持；基板移动机构（11），以从水平方向观察时相对于基板搭载区域（211）而倾斜的姿势使所保持的多个基板（100）的主面与搭载面（210）接近且相对向；及基板旋转机构（13），使多个基板（100）以一个旋转轴为中心而沿着搭载面（210）同时旋转。

主权项

一种基板移载系统，其特征在于，包括：基板载板，具有在垂直方向上延伸且定义出在水平方向上排列的多个矩形基板搭载区域的搭载面，且在各个所述基板搭载区域的外周的左边、右边及下边分别配置着左边固定销、右边固定销及下边固定销；以及基板搭载装置，包括：基板保持机构，将多个矩形基板以各自的主面配置在同一平面水平的状态进行保持；基板移动机构，以从所述水平方向观察时相对于所述基板搭载区域而倾斜的姿势使所保持的多个所述基板的所述主面与所述搭载面接近且相对向；及基板旋转机构，使多个所述基板以一个旋转轴为中心而沿着所述搭载面同时旋转；且所述基板搭载装置以所述基板的左边、右边及下边分别由所述左边固定销、所述右边固定销及所述下边固定销支撑的方式将多个所述基板同时搭载在多个所述基板搭载区域。