[发明专利]改进的复合吸气剂有效
| 申请号： | 201280050593.1 | 申请日： | 2012-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103930966A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | A·伯纳希;P·瓦卡 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | H01J7/18 | 分类号： | H01J7/18;H01L23/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种复合吸气剂体系(20)，它包括用聚酰亚胺或聚酰胺基化合物(23)涂布的NEG材料(22)。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 复合 吸气 | ||
【主权项】：
一种复合吸气剂体系，它包括至少一种NEG材料和至少一种聚酰亚胺和/或聚酰胺基化合物，其特征在于至少80%面向周围环境的NEG材料的表面用所述聚酰亚胺/聚酰胺基化合物涂布，和所述涂层的厚度为0.1至1mm。
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