[发明专利]气体分散设备

摘要

一种与工艺腔室一起使用的气体分散设备，该气体分散设备包括：石英主体，该石英主体具有顶部、环和底板，该环耦接顶部的底表面，该底板具有多个分散孔相对于顶部耦接该环；多个石英板，所述多个石英板设置于顶部与底板之间，其中多个板被定位在彼此上方并间隔开来，以在多个板的每个板和该底板上方形成气室；多个石英管，所述多个石英管用以将气室耦接至多个分散孔，所述多个石英管的每个石英管具有设置于气室中的一个气室内的第一端，且所述多个石英管的每个石英管具有耦接分散孔中的一个分散孔的第二端；和多个导管，所述多个导管设置穿过该顶部，其中所述多个导管的每个导管耦接气室中的一个气室。

主权项

一种气体分散设备，用以提供气体至工艺腔室，所述气体分散设备包括：石英主体，所述石英主体具有顶部、环和底板，所述环耦接所述顶部的底表面，所述底板具有多个气体分散孔并相对于所述顶部耦接所述环；多个石英板，所述多个石英板设置于所述顶部与所述底板之间，其中所述多个石英板被定位在彼此上方并间隔开来，以在所述多个石英板的每个石英板和所述底板上方形成多个气室；多个石英管，所述多个石英管用以将所述气室耦接至所述多个分散孔，所述多个石英管的每个石英管具有第一端，所述第一端流通地耦接所述气室中的一个气室，且所述多个石英管的每个石英管具有第二端，所述第二端耦接所述多个分散孔中的一个分散孔；多个导管，所述多个导管设置穿过所述石英主体的所述顶部，其中所述多个导管的每个导管耦接所述气室中的一个对应的气室，以将工艺气体提供至所述气室；和气体供应件，所述气体供应件容纳所述多个导管并具有一部分自所述石英主体延伸，使得所述部分能被设置在通孔内，所述通孔形成于所述工艺腔室的壁或天花板中。