[发明专利]具有复合塑胶部分的载体头部

摘要

一种化学机械抛光头部，包括基部组件、扣环、以及柔性隔膜，所述基部组件包括至少一部件，所述至少一部件由具有与铝大致相等或比铝更高的拉伸模量的复合塑胶形成，所述扣环固定于基部组件，所述柔性隔膜固定于基部组件以在基部组件与柔性隔膜的上表面之间形成可增压腔室。柔性隔膜的下表面提供基板安装表面。

主权项

一种化学机械的载体头部，包含：基部组件；扣环，所述扣环固定于所述基部组件；以及柔性隔膜，所述柔性隔膜固定于所述基部组件以在所述基部组件与所述柔性隔膜的上表面之间形成多个可增压腔室，所述柔性隔膜的下表面提供基板安装表面，所述柔性隔膜包括外边缘盖瓣和多个内盖瓣，所述外边缘盖瓣提供所述可增压腔室的最外面的外边界，所述多个内盖瓣提供所述多个可增压腔室之间的边界，其中所述基部组件包含复合塑胶的至少一部件和实质上纯塑胶的多个夹环，所述复合塑胶具有与铝大致相等或比铝更高的拉伸模量，其中所述至少一部件中的一部件的第一部分位于所述扣环之上且所述扣环固定至且邻接所述第一部分，所述至少一部件中的所述一部件的第二部分位于所述扣环的径向内方且在所述柔性隔膜之上延伸，其中由实质上纯塑胶形成的所述多个夹环完全位于所述扣环的径向内方且在所述至少一部件中的所述一部件与所述柔性隔膜之间，其中所述多个内盖瓣被夹在实质上纯塑胶的所述多个夹环之间，并且其中所述基部组件包含不锈钢夹环，所述不锈钢夹环完全位于所述扣环的径向内方且在所述至少一部件中的所述一部件之下且在相对于所述至少一部件中的所述一部件的垂直固定位置中被固定至所述至少一部件中的所述一部件。