[发明专利]用于成像系统的无源检测器

摘要

本发明提供用于成像系统的无源检测器结构，实现了带有直接数字测量数据输出的无动力的无源前端检测器结构，用于检测电磁频谱中的各部分（例如，热（IR）、近IR、UV和可见光）中的入射光子辐射。

主权项

一种光子检测器设备，包括：基底；具有一频率且配置在所述基底上的谐振器构件；无源检测器结构，配置在所述基底上并与所述谐振器构件机械地耦接，其中所述无源检测器结构包括检测器构件，所述检测器构件响应于光子曝射而机械变形以将机械力施加到所述谐振器构件，并响应于所述机械力改变所述谐振器构件的频率；以及数字电路，耦接到所述谐振器构件，用于确定所述谐振器构件的频率，并基于所确定的频率来确定由所述检测器构件吸收的入射光子能量的数量，其中所述谐振器构件的频率由于由所述无源检测器结构施加到所述谐振器构件上的机械力而改变。