[发明专利]使用溶胶凝胶法的凹凸基板的制造方法、该制造方法中使用的溶胶溶液及使用该制造方法的有机EL元件的制造方法以及由该方法得到的有机EL元件有效
| 申请号： | 201280053780.5 | 申请日： | 2012-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN104023944A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 高桥麻登香;熊谷吉弘;西村凉 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石能源株式会社 |
| 主分类号： | B29C59/00 | 分类号： | B29C59/00;B29C59/04;H01L21/027;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 制造具有凹凸图案的基板的方法具有：在基板上涂布含有二氧化硅前体的溶胶溶液而形成涂膜的工序(S2)、对涂膜进行干燥的工序(S3)、利用按压辊将具有凹凸图案的模具按压到干燥后的涂膜上的按压工序(S4)、将模具从涂膜剥离的工序(S6)以及对转印有凹凸图案的涂膜进行煅烧的工序(S7)。干燥工序中，以使涂膜的重量相对于在100℃下煅烧涂膜时的干燥重量的重量比为1.4～8.8的方式进行干燥。按压工序中，可以对涂膜进行加热。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 溶胶 凝胶 凹凸 制造 方法 溶液 有机 el 元件 以及 得到 | ||
【主权项】：
一种制造具有凹凸图案的基板的方法，其特征在于，具有：在基板上涂布含有二氧化硅前体的溶胶溶液而形成涂膜的工序；对所述涂膜进行干燥的工序；利用按压辊将具有凹凸图案的模具按压到所述干燥后的涂膜上而将凹凸图案按压到涂膜上的工序；将所述模具从涂膜剥离的工序；以及对转印有所述凹凸图案的涂膜进行煅烧的工序；在所述干燥工序中，以使涂膜的重量相对于在100℃下煅烧涂膜时的干燥重量的重量比为1.4～8.8的方式进行干燥。
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