[发明专利]利用空间变化的电荷分布确定间距有效
| 申请号： | 201280055575.2 | 申请日： | 2012-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN103918075B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | I·E·苏泽兰 | 申请（专利权）人： | 甲骨文国际公司 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L25/065 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 边海梅 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种半导体裸片110‑1。这种半导体裸片包括驱动器114‑1，及电耦合到驱动器114‑1并且靠近半导体裸片的表面112‑1的空间对准换能器116‑1。驱动器在空间对准换能器中的至少一个方向建立空间变化的电荷分布，由此方便该半导体裸片的表面与另一个半导体裸片110‑2的表面112‑2之间垂直间距210的确定。特别地，靠近该另一个半导体裸片的表面的空间对准传感器120‑2可以检测与空间变化的电荷分布相关联的电场(或者相关联的静电势)。这种检测到的电场可以允许确定半导体裸片的表面之间的垂直间距。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 空间 变化 电荷分布 确定 间距 | ||
【主权项】：
一种半导体裸片，包括：驱动器，其中驱动器配置为在一时间间隔期间提供电信号的时间序列；其中该序列中的每个电信号都具有持续时间；其中该序列中的给定的电信号具有不同于与其它电信号相关联的时间频率的一时间频率；并且其中驱动器配置为在该时间间隔期间利用离散的频率增量顺序增加该时间频率；及电耦合到驱动器的空间对准换能器，其中该空间对准换能器靠近半导体裸片的表面，并且其中驱动器配置为在空间对准换能器中在至少一个方向建立空间变化的电荷分布，由此方便该半导体裸片的表面与另一个半导体裸片的表面之间垂直间距的确定。
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