[发明专利]借助微探针分析辐照材料的分析装置有效
| 申请号： | 201280056022.9 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103975234A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | J·拉蒙塔涅;T·布莱;P·贝尔纳 | 申请（专利权）人： | 原子能及能源替代委员会 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 黄必青 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种分析装置(10)，其具有：主包壳体(11)，其配有辅助包壳体(15)；微探针(14)，其布置在主包壳体中并配有减压室(26)和物件运动件(20，22)；以及样品活动支承件(28)，其从辅助包壳体至减压室以及从减压室至物件运动件是能移动的。减压室和物件运动件每个都具有一个样品活动支承件的导向构件(57，59)以及一个检测样品活动支承件出现的检测传感器(60)。 | ||
| 搜索关键词： | 借助 探针 分析 辐照 材料 装置 | ||
【主权项】：
借助微探针(14)分析材料的分析装置(10)，其特征在于，所述分析装置具有：‑主包壳体(11)，其配有辅助包壳体(15)；‑微探针(14)，其布置在主包壳体中并配有物件运动件(20，22)；‑减压室(26)，其布置在主包壳体中并连接至微探针和辅助包壳体；‑样品活动支承件(28)，其从辅助包壳体至减压室以及从减压室至物件运动件是能移动的；并且，减压室和物件运动件每个都具有一个用于在样品活动支承件移动时引导该样品活动支承件的样品活动支承件的导向构件(57，59)，以及一个检测样品活动支承件出现的检测部件(60)。
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