[发明专利]配备有经调制照射源的光学计量工具

摘要

本发明可包含可调制照射源，其经配置以照射安置于样本载台上的样本的表面；检测器，其经配置以检测从所述样本的表面发出的照射；照射光学器件，其经配置以将来自所述可调制照射源的照射引导到所述样本的所述表面；收集光学器件，其经配置以将来自所述样本的所述表面的照射引导到所述检测器；及调制控制系统，其通信地耦合到所述可调制照射源，其中所述调制控制系统经配置而以适于产生具有选定相干特征长度的照射的选定调制频率调制所述可调制照射源的驱动电流。另外，本发明包含多个光源的输出的时间循序交错以产生供在多波长时间循序光学计量中使用的周期性脉冲串。

主权项

一种光学计量工具，其包括：可调制照射源，其经配置以照射安置于样本载台上的样本的表面；一组照射光学器件，其经配置以将来自经调制照射源的照射引导到所述样本的所述表面；一组收集光学器件；检测器，其经配置以检测从所述样本的表面发出的照射的至少一部分，其中所述组收集光学器件经配置以将来自所述样本的所述表面的照射引导到所述检测器；其中所述可调制照射源、所述检测器、所述组照射光学器件及所述组收集光学器件经定位以在所述样本上执行光学计量；及调制控制系统，其通信地耦合到所述可调制照射源，其中所述调制控制系统经配置而以选定调制频率调制所述可调制照射源的驱动电流；其中所述经调制照射源响应于所述调制控制系统而调制来自所述可调制照射源的照射，从而相对于来自处于未调制状态的所述可调制照射源的照射而抑制所述照射内的一个或多个相干特征。