[发明专利]无定形导电性氧化物膜的形成方法有效
| 申请号： | 201280056688.4 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103946930B | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 下田达也;李金望 | 申请（专利权）人： | 国立研究开发法人科学技术振兴机构 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;C01G55/00;H01B1/08;H01B1/20;H01B5/02;H01L29/786 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 孔青;李炳爱 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供无定形导电性氧化物膜的形成方法，其特征在于，进行以下工序：在基板上涂布含有a×y摩尔份的(A1)、a×(1‑y)摩尔份的(A2)、1摩尔份的(B)和(C)的组合物，形成涂膜，在氧化性气氛下加热该涂膜，其中，(A1)选自由除铈以外的镧系元素中选择的金属的羧酸盐、醇盐、二酮盐、硝酸盐和卤化物的1种以上金属化合物，(A2)选自由铅、铋、镍、钯、铜和银中选择的金属的羧酸盐、醇盐、二酮盐、硝酸盐和卤化物的1种以上金属化合物；(B)选自由钌、铱、铑和钴中选择的金属的羧酸盐、醇盐、二酮盐、硝酸盐、卤化物、亚硝酰基羧酸盐、亚硝酰基硝酸盐、亚硝酰基硫酸盐和亚硝酰基卤化物的1种以上金属化合物；以及(C)含有选自羧酸、醇、酮、二醇和二醇醚的1种以上的溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 无定形 导电性 氧化物 形成 方法 | ||
【主权项】：
无定形导电性氧化物膜的形成方法，其特征在于，进行以下工序：在基板上涂布含有a×y摩尔份的A1、a×(1‑y)摩尔份的A2、1摩尔份的B和C的组合物，形成涂膜，在氧化性气氛下加热此涂膜，其中，A1 选自由除铈以外的镧系元素中选择的金属的羧酸盐、醇盐、二酮盐、硝酸盐和卤化物的1种以上金属化合物，A2 选自由铅、铋、镍、钯、铜和银中选择的金属的羧酸盐、醇盐、二酮盐、硝酸盐和卤化物的1种以上金属化合物；B 选自由钌、铱、铑和钴中选择的金属的羧酸盐、醇盐、二酮盐、硝酸盐、卤化物、亚硝酰基羧酸盐、亚硝酰基硝酸盐、亚硝酰基硫酸盐和亚硝酰基卤化物的1种以上金属化合物，其中，上述金属化合物中的至少1种由金属的羧酸盐、醇盐、二酮盐和亚硝酰基羧酸盐中选择，a为0.3~6.0的数，y为0以上且不足1的数；以及C 含有选自羧酸、醇、酮、二醇和二醇醚的1种以上的溶剂。
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