[发明专利]通过将二氧化硅灰料体由蒸汽相沉积在基底上制造合成石英玻璃的方法有效
| 申请号： | 201280057964.9 | 申请日： | 2012-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN103946167B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | H.法比安;J.勒佩尔 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C03B19/14 | 分类号： | C03B19/14;C03B37/014 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 石克虎,林森 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤提供液体SiO2‑原料，其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分，将所述SiO2‑原料汽化成原料蒸气，将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒，使所述SiO2颗粒沉积在沉积面上，形成多孔SiO2灰料体，使所述SiO2灰料体玻璃化，形成合成石英玻璃。由此开始，为了制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体，根据本发明建议，该液体原料含有附加组分，包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物，其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围且重量比例mD7+为至少20重量‑ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 二氧化硅 灰料体 蒸汽 沉积 基底 制造 合成 石英玻璃 方法 | ||
【主权项】：
制造合成石英玻璃的方法，其包括方法步骤：(a) 提供液体SiO2‑原料(105)，其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分，(b) 将所述液体SiO2‑原料(105)汽化成原料蒸气(107)，(c) 将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒(148)，(d) 使所述SiO2颗粒(148)沉积在沉积面(160)上，形成多孔SiO2灰料体(200)，(e) 使所述SiO2灰料体(200)玻璃化，形成合成石英玻璃，其特征在于，液体SiO2‑原料(105)含有附加组分，包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十二甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物，其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围，且重量比例mD7+为至少20重量ppm。
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