[发明专利]根据灰料法制造合成石英玻璃的方法

摘要

制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤：形成含有八甲基环四硅氧烷(D4)作为主要组分（其具有属于其的基准分子量）的SiO₂原料流，将所述流送入反应区，在此原料通过热解或水解在非晶SiO₂颗粒形成下转化成SiO₂，使所述非晶SiO₂颗粒沉积在沉积面上，形成多孔SiO₂灰料体，和使所述SiO₂灰料体玻璃化，形成合成石英玻璃。由此开始，为了能制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体，根据本发明建议，该原料含有附加聚烷基硅氧烷形式的附加组分，其中以至少50ppm的重量比例包含相对分子量小于基准分子量的轻质聚烷基硅氧烷，并以至少30ppm的重量比例包含相对分子量大于基准分子量的重质聚烷基硅氧烷。

主权项

制造合成石英玻璃的方法，其包括方法步骤：(A) 提供液体SiO₂原料(105)，其含有多于60重量%的聚烷基硅氧烷D4，(B) 将液体SiO₂原料(105)汽化成气态SiO₂原料蒸气(107)，(C) 将SiO₂原料蒸气(107)转化成SiO₂颗粒，(D) 使所述SiO₂颗粒沉积在沉积面(160)上，形成SiO₂灰料体(200)，(E) 使SiO₂灰料体玻璃化，形成合成石英玻璃，其特征在于，液体SiO₂原料(105)具有至少一种重量比例为mD3的聚烷基硅氧烷D3的附加组分和重量比例为mD5的聚烷基硅氧烷D5的附加组分，重量比mD3/mD5在0.01至1的范围，并保持重量比mD3/mD5汽化所提供的液体SiO₂原料(105)，并将其至少99重量%汽化成气态SiO₂原料蒸气(107)。