[发明专利]通过由蒸汽相沉积和借助液体硅氧烷原料制造合成石英玻璃的方法有效
| 申请号： | 201280057983.1 | 申请日： | 2012-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN103946168B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | H.法比安;J.勒佩尔 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C03B19/14 | 分类号： | C03B19/14;C03B37/014 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 石克虎,林森 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及制造合成石英玻璃的方法，其包括步骤(A)提供液体SiO2原料(105)，其包含多于70重量%的聚烷基硅氧烷D4，(B)将SiO2原料(105)汽化成气态SiO2原料蒸气(107)，(C)将SiO2原料蒸气(107)转化成SiO2颗粒，(D)使所述SiO2颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成SiO2灰料体(200)，(E)使SiO2灰料体(200)玻璃化，同时形成合成石英玻璃。根据本发明提出，汽化加热的SiO2原料(105)包括在膨胀室(125)中的注射阶段，在此将SiO2原料(105)雾化成微滴，所述微滴具有小于5微米，优选小于2微米的平均直径。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 蒸汽 沉积 借助 液体 硅氧烷 原料 制造 合成 石英玻璃 方法 | ||
【主权项】：
制造合成石英玻璃的方法，其包括方法步骤：(A) 提供液体SiO2原料(105)，其具有多于70重量%的聚烷基硅氧烷D4（八甲基环四硅氧烷）和附加组分D3（六甲基环三硅氧烷）和/或附加组分D5（十甲基环五硅氧烷），其中D3和D5在液体SiO2原料的总重量中的重量比例之和在0.5重量%至3重量%的范围，(B) 将SiO2原料(105)汽化成气态SiO2原料蒸气(107)，(C) 将SiO2原料蒸气(107)转化成SiO2颗粒，(D) 使所述SiO2颗粒沉积在沉积面(160)上，形成外径大于300毫米的SiO2灰料体(200)，(E) 使SiO2灰料体玻璃化，形成合成石英玻璃，其特征在于，所述SiO2原料(105)的汽化包括在膨胀室(125)中的注射阶段，在其中将SiO2原料(105)雾化成微滴，其中所述微滴具有小于5微米的平均直径，其中所述汽化包括步骤：·加热SiO2原料(105)，·将加热的SiO2原料(105)引入膨胀室(125)中，以使至少第一部分的SiO2原料(105)因压降而汽化，所述压降在1.8至5巴的范围。
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