[发明专利]光伏电池中I-III-VI2层和背接触层之间的改良界面有效
申请号: | 201280058156.4 | 申请日: | 2012-11-22 |
公开(公告)号: | CN104025253B | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 斯蒂芬妮·安格尔;卢多维克·帕里西 | 申请(专利权)人: | 耐克西斯公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/36 |
代理公司: | 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 | 代理人: | 童锡君 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种制造具有光伏特性的I‑III‑VI2层的方法,包括:金属在衬底上的沉积以形成接触层,光伏层的前体在接触层上的沉积,以及添加了元素VI的前体的热处理以形成I‑III‑VI2层。元素VI通常在热处理过程中扩散到接触层(MO)中并且与金属结合在接触层上形成表面层(SUP)。在本发明的方法中,金属沉积包括一个步骤,在该步骤中,一种添加元素被添加到金属中以在接触层上形成一种化合物(MO‑EA),作为元素VI的扩散阻挡层,从而能够精确地控制表面层的特性,特别是其厚度。 | ||
搜索关键词: | 电池 iii vi sub 接触 之间 改良 界面 | ||
【主权项】:
1.用于制作具有光伏特性的I‑III‑VI2层的方法,包括:‑将金属沉积在衬底上以形成接触层,‑将I‑III‑VI2层的前体沉积在接触层上,以及‑前体的热处理中加入元素VI以形成I‑III‑VI2层,金属沉积包括一个步骤,在该步骤中,添加元素被添加到金属中以在接触层上形成化合物,所述化合物作为元素VI扩散的阻挡物,所述方法还包括在接触层上沉积钼牺牲层,所述钼牺牲层的沉积发生在沉积前体之前,在热处理过程中所述牺牲层和元素VI进行反应,从而在接触层上形成表面层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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