[发明专利]具有优化的边缘终止的半导体元器件有效

专利信息
申请号: 201280058927.X 申请日: 2012-09-06
公开(公告)号: CN104321879B 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: R·巴塞尔梅斯;H-J·舒尔策;U·克尔纳-韦德豪森;J·卢茨;T·巴斯勒 申请(专利权)人: 英飞凌科技有限两合公司
主分类号: H01L29/861 分类号: H01L29/861;H01L29/06
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 冯剑明
地址: 德国瓦尔*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种半导体元器件,包括:具有第一侧面(22)、第二侧面(23)和边缘(24)的半导体主体(21),具有第一导电类型的基本掺杂的内部区(27),安置在第一侧面(22)和内部区(27)之间的第一半导体区(28、61),且其为具有比内部区(27)的掺杂浓度更高的掺杂浓度的第一导电类型,安置在第二侧面(23)和内部区(27)之间的第二半导体区(29),并且其为与具有比内部区(27)的掺杂浓度更高的掺杂浓度的第一导电类型互补的第二导电类型,至少一个第一边缘斜面,其至少沿着第二半导体区(29)和内部区(27)的边缘(24)以第一角度(30)向从第二半导体区(29)至内部区(27)的过渡的扩展面延伸,其中,第一半导体区(28、61)和内部区(27)之间设置有至少一个埋入式半导体区(41、51、81),其具有比内部区(27)的掺杂浓度更高的掺杂浓度的第二导电类型,并且基本上平行于第一半导体区(28、61)延伸。
搜索关键词: 具有 优化 边缘 终止 半导体 元器件
【主权项】:
1.一种半导体元器件,包括‑一半导体主体(21),该半导体主体具有第一侧面(22)、第二侧面(23)和边缘(24),‑一内部区(27),该内部区具有第一导电类型的一基本掺杂,‑第一阴极侧半导体区(61),该第一阴极侧半导体区被安置在第一侧面(22)和内部区(27)之间,并且是具有比内部区(27)的掺杂浓度更高的掺杂浓度的该第一导电类型,‑一第二阳极侧半导体区(29),该第二阳极侧半导体区被安置在第二侧面(23)和内部区(27)之间,并且是一第二导电类型,该第二导电类型与第一导电类型互补,且掺杂浓度高于内部区(27),‑至少一个第一边缘斜面,该第一边缘斜面至少沿着第二阳极侧半导体区(29)和内部区(27)的边缘(24)以第一角度(30)向从第二阳极侧半导体区(29)至内部区(27)的过渡的扩展面延伸,第一阴极侧半导体区(61)和内部区(27)之间设置有至少一个埋入式半导体区(41、81),该埋入式半导体区为具有比内部区(27)的掺杂浓度更高的掺杂浓度的第二导电类型,并且基本上平行于第一阴极侧半导体区(61)延伸,其中,埋入式半导体区(41、81)仅被设置在半导体主体(21)的边缘区域(26)中,第二边缘斜面,该第二边缘斜面相对于从第一阴极侧半导体区(61)向内部区(27)的过渡具有第二角度(71),该第二边缘斜面至少沿着第一阴极侧半导体区(61)和埋入式半导体区(41)的边缘(24)延伸,其中,第二角度(71)的绝对值小于第一角度(30)的绝对值。
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