[发明专利]工件处理系统以及工件处理方法有效
申请号: | 201280059757.7 | 申请日: | 2012-11-02 |
公开(公告)号: | CN103988290B | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | 杰森·M·夏勒;罗伯特·B·宝佩特;查理斯·T·卡尔森;麦考林·N·丹尼尔;亚隆·P·威波;威廉·T·维弗 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 此工件处理系统的一实施例包括输送带与加载互锁区,第一交换机械臂在建造台与加载互锁区之间持有并传送工件,支架机械臂在每个输送带与第一交换机械臂之间传送工件。在一实例中,利用支架机械臂,将已加工工件从第一交换机械臂传送至第一输送带,并将未加工工件从第二输送带传送至第一交换机械臂。第二交换机械臂可与第一交换机械臂一起用来从加载互锁区负载并卸载工件。 | ||
搜索关键词: | 工件 处理 系统 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种工件处理系统,包括:多个输送带;加载互锁区;支架机械臂,包括多个夹爪,其中所述多个夹爪用以从所述多个输送带中的一个选取多个工件,所述支架机械臂用以在建造台与每个所述多个输送带之间传送成排的多个工件,所述支架机械臂传送的多个工件是在所述建造台的所述多个工件的二维的矩阵的一部分;以及第一交换机械臂以及第二交换机械臂,分别用以在所述建造台与所述加载互锁区之间传送所述多个工件的所述矩阵,所述第一交换机械臂以及所述第二交换机械臂分别具有用于抓持所述多个工件的叶片,所述第一交换机械臂置于所述第二交换机械臂之上,且所述第一交换机械臂以及所述第二交换机械臂具有一个z轴致动器以一起在垂直方向上移动,所述第一交换机械臂以及所述第二交换机械臂分别用以二维地移动,当所述支架机械臂相对所述第二交换机械臂负载或卸载所述多个工件的所述矩阵时,所述第一交换机械臂在水平方向上移动至停放位置。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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