[发明专利]热式流量计

摘要

本发明提供高精度、高可靠性、且结构简单、更廉价的热式流量计，其包括：取入被测量流体的副通路；测量上述副通路内的被测量流体的流量的传感元件；检测被测量流体的温度的温度检测元件；控制上述传感元件的加热温度的驱动电路；保护上述驱动电路不受噪声影响的保护电路，在上述传感元件的基板，形成有空洞部，在上述空洞部上的薄膜部隔着电绝缘膜形成有发热电阻体，该热式流量计根据上述薄膜部的温度分布检测流量，上述传感元件和上述驱动电路安装于金属的引线框，上述传感元件、上述驱动电路和上述引线框通过将全周用热固化性树脂密封而被实施芯片封装，至少保护驱动电路的芯片部件和空气温度检测元件之任一者混装在上述芯片封装的内部。

主权项

一种热式流量计，包括：取入被测量流体的副通路；测量所述副通路内的被测量流体的流量的传感元件；检测被测量流体的温度的温度检测元件；控制所述传感元件的加热温度的驱动电路；和保护所述驱动电路不受噪声影响的保护电路，其中，在所述传感元件的基板，形成有空洞部，在所述空洞部上的薄膜部，隔着电绝缘膜形成有发热电阻体，所述热式流量计根据所述薄膜部的温度分布来检测流量，所述热式流量计的特征在于：所述传感元件和所述驱动电路被安装于金属的引线框，所述传感元件、所述驱动电路和所述引线框通过将全周用热固化性树脂密封而被实施芯片封装，至少用于保护驱动电路的芯片部件和空气温度检测元件之任一者被混装在所述芯片封装的内部。