[发明专利]处理装置及护罩有效
| 申请号： | 201280061498.1 | 申请日： | 2012-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN103998642A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 安松保志 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明为处理装置及护罩，提供一种有利于提高对围住基板的护罩的变形的容许度的技术。处理装置具备基板保持部、当由上述基板保持部将基板保持时围在该基板的周围进行配置的护罩，和由磁力保持上述护罩的护罩保持部。上述护罩具有多个第1磁铁和多个第2磁铁，该第1磁铁朝着上述护罩保持部配置具有第1极性的磁极，该第2磁铁朝着上述护罩保持部配置具有第2极性的磁极，上述多个第1磁铁与上述多个第2磁铁配置在相对于上述护罩的中心对称的位置，上述护罩保持部具有多个第3磁铁和多个第4磁铁，该第3磁铁朝着上述护罩配置具有上述第1极性的磁极，以便与上述多个第2磁铁间产生吸引力；该第4磁铁朝着上述护罩配置具有上述第2极性的磁极，以便与上述多个第1磁铁间产生吸引力。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 护罩 | ||
【主权项】：
一种处理装置，具备基板保持部、当由上述基板保持部将基板保持时围在该基板的周围进行配置的护罩，和由磁力保持上述护罩的护罩保持部，其特征在于：上述护罩具有多个第1磁铁和多个第2磁铁，该第1磁铁朝着上述护罩保持部配置具有第1极性的磁极，该第2磁铁朝着上述护罩保持部配置具有第2极性的磁极，上述多个第1磁铁与上述多个第2磁铁配置在相对于上述护罩的中心对称的位置，上述护罩保持部具有多个第3磁铁和多个第4磁铁，该第3磁铁朝着上述护罩配置具有上述第1极性的磁极，以便与上述多个第2磁铁间产生吸引力；该第4磁铁朝着上述护罩配置具有上述第2极性的磁极，以便与上述多个第1磁铁间产生吸引力；上述多个第3磁铁与上述多个第4磁铁配置在相对于上述护罩保持部的中心对称的位置，上述护罩保持部以容许上述护罩受热变形的方式对上述护罩进行保持，通过上述多个第1磁铁与上述多个第4磁铁之间作用的磁力和上述多个第2磁铁与上述多个第3磁铁之间作用的磁力将上述护罩的中心定位于上述护罩保持部的中心。
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