[发明专利]信息记录介质用玻璃基板的制造方法有效
申请号: | 201280062443.2 | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN104160444A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 岛津典子 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84;B08B3/12;B08B11/04 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;于英慧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 玻璃基板的制造方法具有进行玻璃基板的研磨的工序、和在进行了玻璃基板的研磨后进行玻璃基板的清洗的工序。进行玻璃基板的清洗的工序包含如下工序:在槽内表面是由不锈钢或树脂构成的多个第1槽中,分别进行玻璃基板的清洗;以及,在槽内表面是由石英构成的第2槽中进行玻璃基板的清洗。在多个第1槽中分别进行玻璃基板的清洗的工序包含至少1次超声波清洗。在多个第1槽中分别进行玻璃基板的清洗的工序完成之后,进行在第2槽中清洗玻璃基板的工序。 | ||
搜索关键词: | 信息 记录 介质 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法,具有如下工序:进行玻璃基板的研磨;在进行了所述玻璃基板的研磨之后,进行所述玻璃基板的清洗,进行所述玻璃基板的清洗的工序包含如下工序:在槽内表面是由不锈钢或树脂构成的多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗;在槽内表面是由石英构成的第2槽中进行所述玻璃基板的清洗,在所述多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗的工序包含至少1次超声波清洗,在所述多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗的工序完成之后,进行在所述第2槽中清洗所述玻璃基板的工序。
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