[发明专利]用于极度边缘可调性的延伸和独立的射频驱动阴极基板有效
| 申请号： | 201280062489.4 | 申请日： | 2012-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN104012185A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | V·托多罗;S·巴纳;I·优素福;A·王;G·勒雷 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明中提供一种处理基板的装置。在一些实施例中，一种处理基板的装置可包括：基板支座，该基板支座包含设置于该基板支座内并具有周缘及第一表面的第一电极；设置于该第一电极的该第一表面上方的基板支座表面；以及第二电极，该第二电极设置于该基板支座内并径向延伸越过该第一电极的该周缘，其中该第二电极具有第二表面，该第二表面设置于该第一电极的该第一表面周围与上方。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 极度 边缘 调性 延伸 独立 射频 驱动 阴极 | ||
【主权项】：
一种基板支座，包含：第一电极，所述第一电极设置于所述基板支座内并具有周缘及第一表面；基板支座表面，所述基板支座表面设置于所述第一电极的所述第一表面上方；以及第二电极，所述第二电极设置于所述基板支座内并径向延伸越过所述第一电极的所述周缘，其中所述第二电极具有第二表面，所述第二表面设置于所述第一电极的所述第一表面周围与上方。
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