[发明专利]被测量物特性测量装置

摘要

本发明的被测量物特性测量装置具备弹性表面波元件，该弹性表面波元件具备：梳形电极，其形成于压电基板上的第一面，激振起弹性波，并接收基于弹性波的反射；反射部，其具有第三面和第四面，该第三面形成在梳形电极和与弹性波的传播方向上的第一面正交的第二面之间、在第一面的法线方向上与第一面不同的位置，该第四面在第一面的法线方向上垂直地形成，并连结所述第一面的端部和所述第三面；反应场，其形成于梳形电极和反射部之间并负荷被测量物；以及传播部，其形成于反射部和第二面之间，该被测量物特性测量装置基于把从梳形电极沿反应场传播、由第四面反射、并由梳形电极接收的弹性波从由第二面反射并由梳形电极接收的弹性波中所含有的体波分离而得的弹性表面波，求出被测量物的特性。

主权项

一种被测量物特性测量装置，其特征在于，具备弹性表面波元件，所述弹性表明波元件具备：梳形电极，其形成于压电基板上的第一面，激励弹性波，并接收基于所述弹性波的反射；反射部，其具有第三面和第四面，所述第三面形成在所述梳形电极和与所述弹性波的传播方向上的所述压电基板的所述第一面正交的第二面之间、在所述第一面的法线方向上与所述第一面不同的位置，所述第四面在所述第一面的法线方向上垂直地形成，并连结所述第一面的端部和所述第三面；反应场，其形成于所述梳形电极和所述反射部之间并负荷被测量物；以及传播部，其形成于所述反射部和所述第二面之间，所述被测量物特性测量装置将从所述梳形电极在所述反应场传播、由所述反射部的所述第四面反射、并由所述梳形电极接收的所述弹性波中所含有的在所述压电基板的表面传播的弹性表面波从由所述压电基板的所述第二面反射、并由所述梳形电极接收的所述弹性波中所含有的在所述压电基板的内部传播的体波中分离并提取出，基于提取出的所述弹性表面波求出所述被测量物的特性。