[发明专利]均匀的HIPIMS涂敷方法有效
| 申请号： | 201280063780.3 | 申请日： | 2012-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN104160470A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | S·克拉斯尼策尔;H·鲁蒂吉尔 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 柯广华;刘春元 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种HIPIMS方法，通过该方法能够在涂敷室的高度上沉积均匀的层。在此使用两个分阴极。根据本发明，单独选择对这些分阴极施加的各个功率脉冲区间的长度，并且这样在涂敷室的高度上实现希望的涂层厚度轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 hipims 方法 | ||
【主权项】：
用于从气相借助溅射在抽成真空的涂敷室内进行物理涂敷的方法，尤其借助HIPIMS，所述方法包括如下步骤：a)提供发电机，其具有预先规定的优选至少在接通后和在经过一个功率建立区间后恒定的功率输出，b)接通该发电机，c)把第一分阴极连接在该发电机上，使得该第一分阴极加载有发电机的功率，d)在经过预先规定的、与第一分阴极对应的第一功率脉冲区间后使发电机与第一分阴极分开，e)把第二分阴极连接在发电机上，使得该第二分阴极加载有发电机的功率，f)在经过预先规定的、与第二分阴极对应的第二功率脉冲区间后使发电机与第二分阴极分开；其特征在于，一个功率脉冲区间的长度如此适应另一个功率脉冲区间的长度，使得由所述涂敷产生的层在所述涂敷室的高度上具有预先规定的层厚度分布。
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