[发明专利]薄膜的成膜装置

摘要

本发明涉及一种成膜装置，在宝特瓶等容器的内表面、外表面中的任一方或双方形成DLC(Diamond Like Carbon)膜、SiOx膜、SiOC膜、SiOCN膜、SiNx膜、AlOx膜等气体阻隔性高的薄膜。成膜装置具备：用于使用发热体(21)在真空状态下在容器(4)的表面进行成膜的真空腔室；对真空腔室进行抽真空的真空排气单元；及在真空腔室的抽真空开始后，在真空腔室内使容器(4)与发热体(21)相对移动的相对移动单元。

主权项

一种薄膜的成膜装置，其特征在于，具备：真空腔室，用于使用发热体在真空状态下在容器的表面进行成膜；真空排气单元，对所述真空腔室进行抽真空；及相对移动单元，在所述真空腔室的抽真空开始后，在所述真空腔室内使容器与发热体相对移动。