[发明专利]外观检查设备和外观检查方法

摘要

为了提供能够检测被检体的形状和被检体表面的细微凹凸、并且检测“光亮”和“色调变化”的表面状态的外观检查设备和外观检查方法，进行以下操作：利用波长彼此不同的三种光中的具有中间波长的狭缝光来照射被检体表面；根据所接收到的反射光来获取被检体表面的反射亮度数据；利用除中间波长以外的波长不同的两个光从不同方向以彼此重叠的方式照射被检体表面上的与狭缝光所照射的位置不同的位置，以使得根据所接收到的反射光获取被检体表面的表面数据；根据这两个光的强度之间的比率来检测被检体表面的凹凸的有无；将反射亮度数据和表面数据合成以检测被检体表面的色调的变化；并且基于凹凸的有无和色调的变化来检测被检体表面的光泽。

主权项

一种外观检查设备，包括：第一投光部件，用于将波长彼此不同的三种光中的具有中间波长的狭缝光照射至被检体表面上；第一摄像部件，用于通过接收所述狭缝光的反射光，来获取被检体表面的反射亮度数据；第二投光部件，用于将除所述中间波长以外的波长不同的两个光从不同方向以彼此重叠的方式照射至被检体表面上的与所述狭缝光所照射的位置不同的位置；第二摄像部件，用于通过接收来自所述两个光彼此重叠的部分的反射光，来获取被检体表面的表面数据；凹凸缺陷检测部件，用于根据所述表面数据中所包含的所述两个光的强度之间的比率，来检测被检体表面的凹凸的有无；颜色异常缺陷检测部件，用于通过将所述反射亮度数据和所述表面数据进行合成，来检测被检体表面的色调的变化；以及光泽缺陷检测部件，用于基于所述凹凸的有无和所述色调的变化，来检测被检体表面的光泽。