[发明专利]微机械元件、具有微机械元件的部件和用于制造部件的方法有效
| 申请号： | 201280065850.9 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN104024144A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | S·甘特奈尔;B·施密德 | 申请（专利权）人： | 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 殷玲;吴鹏 |
| 地址： | 德国法*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械元件(123a)、一种具有微机械元件(123a)的部件(100)和一种用于制造部件(100)的方法。在此，微机械元件(123a)具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)，其中，通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数，并且通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 元件 具有 部件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械元件(123a)，其具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)，其中，通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数，通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数。
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