[发明专利]质量分析装置

摘要

本发明的课题在于防止离子的导入效率降低、减少清洗作业的时间和劳力。为了解决上述课题，本发明提供如下质量分析装置(1)，其特征在于，电极(13)的离子导入孔(14)被分割为第一区域(14-1)、第二区域(14-2)以及第三区域(14-3)，第一区域和第三区域双方或者任一方的离子导入孔的中心轴方向与第二区域的离子导入孔的内部的离子的流动方向的轴不同，第一区域和第三区域的离子导入孔的轴具有偏心的位置关系。

主权项

一种质量分析装置，其将在大气压下生成的离子导入由真空排气机构排气后的真空室，并对上述离子的质量进行分析，上述质量分析装置的特征在于，具有开设有将上述离子导入上述真空室的离子导入孔的电极，上述电极的离子导入孔被分割为第一区域、第二区域以及第三区域，上述第一区域和上述第三区域双方或者任一方的离子导入孔的中心轴方向与上述第二区域的离子导入孔的内部的上述离子的流动方向的轴不同，上述第二区域除与上述第一区域和上述第三区域连接的出口以外没有出口，上述电极能够在上述第一区域或上述第三区域与上述第二区域之间、或者第二区域的中途部分分离，上述第一区域和上述第三区域的离子导入孔的轴具有偏心的位置关系。