[发明专利]三卤硅烷精炼设备有效
申请号: | 201280066738.7 | 申请日: | 2012-11-12 |
公开(公告)号: | CN104039700A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 李成圭;申俊浩;李钟求;金性均 | 申请(专利权)人: | LG化学株式会社 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;B01J10/00;B01D3/14;B01D53/00 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 许向彤;陈英俊 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 提供了一种三卤硅烷精炼设备和三卤硅烷精炼方法。该三卤硅烷精炼设备可以用于从包含三卤硅烷的进料中获得高纯度的三卤硅烷,同时消耗少量的能量。 | ||
搜索关键词: | 硅烷 精炼 设备 | ||
【主权项】:
一种三卤硅烷精炼设备,包括:分隔壁精馏塔,所述分隔壁精馏塔具有安装在其中的分隔壁,所述分隔壁中具有相对于所述分隔壁精馏塔的总理论板数的30%或更多的长度;以及第一精馏塔,耦接到所述分隔壁精馏塔,其中,所述分隔壁精馏塔包括上塔区、初步分离区、主分离区和下塔区,并且所述分隔壁精馏塔中装有用于引导包含三卤硅烷的进料进入所述初步分离区中的入口、第一出口、第二出口和第三出口。
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