[发明专利]流体压力传感器以及测量探针有效
| 申请号： | 201280067062.3 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN104040315A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | E·东齐耶;E·塔韦尼耶 | 申请（专利权）人： | 欧芬菲尔德公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 许剑桦 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种流体压力测量传感器(11)，它包括微机电系统(MEMS)芯片(23)。该MEMS芯片(23)包括：两个侧壁(56)；灵敏隔膜(49)，该灵敏隔膜与所述侧壁(56)连接；以及密封空腔(9)。侧壁(56)和灵敏隔膜(49)的外表面暴露于流体压力中。侧壁(56)设计成使得灵敏隔膜(49)受到由相对侧壁(56)传递的压缩应力，其中，所述侧壁(56)与灵敏隔膜(49)连接，以使得灵敏隔膜(49)只在压缩中工作。MEMS芯片(23)还包括应力检测电路(31)，以便测量灵敏隔膜(49)的压缩状态，该压缩状态与流体压力成比例。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 压力传感器 以及 测量 探针 | ||
【主权项】：
一种流体压力测量传感器(11)，包括微机电系统MEMS芯片(23)，其中：MEMS芯片(23)包括：两个侧壁(56)；灵敏隔膜(49)，所述灵敏隔膜与所述侧壁(56)连接；以及密封空腔(9)；灵敏隔膜(49)和侧壁(56)的外表面暴露于流体压力中；侧壁(56)设计成使得灵敏隔膜(49)受到由相对侧壁(56)传递的压缩应力，其中，所述侧壁(56)与灵敏隔膜(49)连接，以使得灵敏隔膜(49)只在压缩中工作；以及MEMS芯片(23)还包括应力检测电路(31)，以便测量灵敏隔膜(49)的压缩状态，所述压缩状态与流体压力成比例。
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