[发明专利]用于连结材料的方法、板轴装置和以此形成的多层板

摘要

本发明涉及一种用于连结第一陶瓷件和第二陶瓷件的方法，所述方法包括：在两个陶瓷件之间钎焊连续的连结材料的层。连结材料的变湿和流动可以通过选择连结材料、连结温度、温度下的时间和连结气氛及其它因素而被控制。陶瓷件可以是氮化铝，并且陶瓷件可以在受控的气氛下用铝合金钎焊。连结部材料可以适于随后既耐得住在衬底处理期间在处理室内的环境，又耐得住含氧气氛，所述含氧气氛可以在加热器的或静电卡盘的轴内看到。

主权项

一种用于将具有第一界面区的第一陶瓷件连结到具有第二界面区的第二陶瓷件的方法，所述方法包括：在所述第一界面区和所述第二界面区之间放置钎焊元件；将所述第一陶瓷件和所述第二陶瓷件及其之间的所述钎焊元件放置到处理室中；从所述处理室除氧；以及，将至少所述钎焊元件加热到连结温度，从而在所述第一陶瓷件和所述第二陶瓷件之间提供气密密封的连结部。