[发明专利]用于生物化学应用中极低电流测量的噪声屏蔽技术

摘要

本发明公开了一种具有集成噪声屏蔽物的装置。装置包括基本上包围半导体装置的多个垂直屏蔽结构。装置进一步包括位于半导体装置上方基本上充满导电流体的开口，其中，多个垂直屏蔽结构和导电流体屏蔽半导体装置免受环境辐射的影响。在一些实施例中，装置进一步包含位于半导体装置下方的导电底部屏蔽物，其屏蔽半导体装置免受环境辐射的影响。在一些实施例中，开口被配置为允许将生物样本引入至半导体装置中。在一些实施例中，垂直屏蔽结构包括多个通孔，其中，多个通孔中的每个把多于一个的导电层连接在一起。在一些实施例中，装置包括纳米孔装置，并且其中，纳米孔装置包括纳米孔阵列的单一单元。

主权项

一种具有集成噪声屏蔽物的装置，包括：基本上包围半导体装置的多个垂直屏蔽结构；以及位于所述半导体装置上方的、基本上充满导电流体的开口；其中，所述多个垂直屏蔽结构和所述导电流体屏蔽所述半导体装置免受环境辐射的影响。