[发明专利]X射线厚度计

摘要

本发明涉及一种X射线厚度计，更降低成本且具有检量线校正功能。X射线厚度计基于对被测定物照射X射线而得到的检测剂量以及检量线，来测定上述被测定物的板厚，且能够执行校正上述检量线的检量线校正处理。上述X射线厚度计主体按照每个使上述检测剂量变动的干扰因素来存储表示对所希望的厚度进行定义的多个校正点的检测剂量的变化率的修正曲线。另外，存储在上述检量线制作时使用的、在X射线束中未插入校正板的第一状态下的检测剂量、在X射线束中插入了校正板的第二状态下的检测剂量、以及遮断了X射线的第三状态下的检测剂量。并且，在使用上述修正曲线对上述各校正点的检测剂量进行了修正之后，根据该修正后的检测剂量来校正检量线。

主权项

一种X射线厚度计，根据对被测定物照射X射线而得到的检测剂量以及检量线，来测定上述被测定物的板厚，且能够执行校正上述检量线的检量线校正处理，其特征在于，上述X射线厚度计主体具备：第一存储单元，按照每个使上述检测剂量变动的干扰因素来存储表示对所希望的厚度进行定义的多个校正点的检测剂量的变化率的多个修正曲线；第二存储单元，存储在上述检量线制作时使用的、在X射线束中未插入校正板的第一状态下的检测剂量、在X射线束中插入了校正板的第二状态下的检测剂量、以及遮断了X射线的第三状态下的检测剂量；测定单元，在上述检量线校正处理时，分别测定上述第一状态至上述第三状态下的检测剂量；第一计算单元，根据上述测定的各检测剂量以及上述存储的各检测剂量，计算表示上述第一状态至上述第三状态下的检测剂量的变化率的第一检测剂量变化率；第二计算单元，根据上述计算出的第一检测剂量变化率，计算表示上述各校正点的检测剂量的变化率的第二检测剂量变化率；读出单元，从上述第一存储单元读出上述存储的多个修正曲线中、与表示上述计算出的第二检测剂量变化率的曲线一致或者近似的修正曲线；以及校正单元，在使用上述读出的修正曲线对上述各校正点的检测剂量进行了修正之后，根据该修正后的检测剂量对上述检量线进行校正。