[发明专利]溅镀装置有效
| 申请号： | 201280071339.X | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN104169456A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 石原繁纪 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 溅镀装置具有：配置于基板平台与多个阴极电极之间的防附着板，以及配置于前述防附着板与前述基板平台之间的闸门板。防附着板，在与被前述多个阴极电极保持的多个靶材的各个相向的位置具有孔。在前述防附着板与前述闸门板彼此相向的各自的面，形成有以该闸门板的旋转轴为中心的同心状的凹凸形状。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，该溅镀装置配置有：真空腔室；基板平台，设于前述真空腔室内而用来保持基板；多个阴极电极，与前述基板平台相向设置而用来保持各个靶材；防附着板，配置于前述基板平台与前述阴极电极之间，在与前述多个靶材的各个相向的位置形成有孔；该溅镀装置的特征在于：在前述防附着板与前述基板平台之间具有闸门板，该闸门板形成有使前述靶材对前述基板露出的至少一个孔，通过以旋转轴为中心的旋转，将前述靶材与前述基板做成遮蔽状态或非遮蔽状态，在前述防附着板与前述闸门板彼此相向的各自的面，形成有以该闸门板的旋转轴为中心的同心状的凹凸形状，在前述各自的面形成的前述凹凸形状，形成为各自的凹部与凸部互相面对面，且各自的凹部与凸部互相交错。
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