[发明专利]晶片图数据核对系统以及晶片图数据核对方法

摘要

晶片图数据图像以与由相机拍摄到的晶片图像相同的裸片的排列图案且以由网格状的线隔开的各裸片的区域与晶片图像的各裸片的区域相同尺寸进行显示。作业者对鼠标、键盘等输入装置或触摸面板进行操作，在显示装置的画面上使晶片图像或晶片图数据图像的显示位置移动而使晶片图像和晶片图数据图像重叠而一致，从而对晶片图像和晶片图数据图像进行核对，指定开始吸附的裸片。之后，开始生产，根据晶片图数据，从开始吸附的裸片起仅依次拾取合格裸片而安装于基板。

主权项

1.一种晶片图数据核对系统，具备：显示装置，显示由相机对以分割为多个裸片的方式被切割的晶片的至少一部分进行拍摄而得到的晶片图像和表示所述晶片的各位置的裸片是否合格的晶片图数据图像；及操作单元，进行对所述晶片图像和所述晶片图数据图像进行核对的操作，所述晶片图数据核对系统的特征在于，所述晶片图数据图像以与所述晶片图像相同的裸片的排列图案且以由网格状的线隔开的各裸片的区域与所述晶片图像的各裸片的区域相同的尺寸进行显示，所述操作单元构成为，在所述显示装置的画面上使所述晶片图像或所述晶片图数据图像的显示位置移动而使所述晶片图像和所述晶片图数据图像重叠而一致，从而通过目测对所述晶片图像和所述晶片图数据图像进行核对，所述操作单元具有在使所述晶片图像和所述晶片图数据图像重叠而一致的状态下指定开始吸附的裸片的单元，使得能够从开始吸附的裸片起仅依次拾取合格的裸片。