[发明专利]电子元件保持头、电子元件检测方法及裸片供给机

摘要

电子元件保持头具备多个吸嘴(60)、与多个吸嘴连接的多个空气通路(66)、从多个空气通路抽吸空气的泵(68)及设于多个空气通路的多个流量传感器(69)，其中，对于流量传感器，根据与设有该流量传感器的空气通路连接的吸嘴的吸嘴直径来设定阈值，判定抽吸空气时的流量传感器的检测值是否超过阈值。并且，在判定为检测值超过阈值的情况下认定为吸嘴未吸附电子元件，在判定为检测值在阈值以下的情况下认定为吸嘴吸附有电子元件。由此，无论吸嘴直径的大小如何，都能够适当地判定吸嘴有无吸附电子元件。

主权项

一种电子元件保持头，具备：多个吸嘴，用于吸附保持电子元件；多个空气通路，与所述多个吸嘴对应地设置，并连接于所述多个吸嘴中的与自身对应的吸嘴；空气抽吸装置，与所述多个空气通路连接，并从所述多个空气通路内抽吸空气；及多个流量传感器，与所述多个空气通路对应地设置，检测在所述多个空气通路中的与自身对应的空气通路的内部流动的空气的流量，所述电子元件保持头能够通过所述多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件，所述电子元件保持头中，该电子元件保持头具备电子元件检测装置，所述电子元件检测装置检测通过所述空气抽吸装置抽吸空气时所述吸嘴有无吸附电子元件，该电子元件检测装置具有：设定部，对于所述多个流量传感器中的各个流量传感器，分别根据与设有所述各个流量传感器的所述空气通路连接的所述吸嘴的吸嘴直径来设定阈值；判定部，判定通过所述空气抽吸装置抽吸空气时的所述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值是否超过所述设定部分别根据所述各个流量传感器而设定的阈值；及认定部，对于与所述多个流量传感器中的被判定为检测值超过阈值的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为未吸附电子元件；对于与被判定为检测值在阈值以下的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为吸附有电子元件。