[发明专利]测量装置和成膜装置

摘要

提供一种能够实现更高速的测量并能够获得更高精度的测量结果的装置，来作为对薄膜的光学特性值和光学膜厚值中的至少一个值进行测量的测量装置。对形成于监视基板(Sm)的薄膜的包括光学特性值和光学膜厚值中的至少一方的值进行测量的测量装置(101)具备光信号产生机构(10)，其将多个LED单元(11a～11f)利用光学滤光镜所生成的单色光调制成对于每个光源单元互不相同的设定频率，并发出多个光信号；照射机构(20)，其对该多个光信号进行复用而生成复用信号，并通过光纤将复用信号向监视基板(Sm)照射；检测机构(30)，其通过光纤检测由监视基板(Sm)反射的复用信号并输出电信号；信号分离机构(50)，其对检测机构(30)所输出的电信号实施带通滤波器的滤波处理，从该电信号中将每个设定频率的成分信号分离出来；以及计算机构(80)，其基于分离出来的每个设定频率的成分信号，按照每个设定频率计算出成分信号所表示的光学特性值，该测量装置同时测量多个所述光学特性值。

主权项

一种测量装置，所述测量装置针对形成于被测量用基板的薄膜，在利用电子束或等离子体将蒸镀材料蒸镀至所述被测量用基板而形成所述薄膜的期间，测量包括光学膜厚值在内的光学特性值，所述测量装置的特征在于，所述测量装置具备以下部分：光信号产生机构，所述光信号产生机构具备利用光学滤光镜生成单色光的多个光源单元，所述光信号产生机构将该多个光源单元各自生成的单色光调制成对于每个光源单元互不相同的设定频率而发出多个光信号；照射机构，所述照射机构对从该光信号产生机构发出的所述多个光信号进行复用而生成复用信号，并通过光纤向所述被测量用基板照射所述复用信号；检测机构，所述检测机构在通过光纤接收到被该照射机构照射后由所述被测量用基板反射或透过所述被测量用基板的所述复用信号时，输出电信号作为检测信号；信号分离机构，所述信号分离机构对该检测机构输出的所述电信号实施滤波处理，由此从所述电信号中分离并提取与所述多个光信号分别对应的每个所述设定频率的成分信号；以及计算机构，所述计算机构基于该信号分离机构从所述电信号中分离出来的每个所述设定频率的所述成分信号，计算出所述成分信号所表示的所述光学特性值，所述设定频率的种类数能够设定成至少2以上的任意数量，利用带通滤波器来进行所述滤波处理，所述带通滤波器将与从所述电子束或所述等离子体发出的杂散光相对应的频率去除，并且所述带通滤波器的透射波段的中心频率被设定成与所述设定频率相同的频率，所述信号分离机构通过对所述电信号实施所述滤波处理来同时提取每个所述设定频率的所述成分信号，所述计算机构对应于每个所述设定频率来执行解析所述成分信号并计算出所述光学特性值的处理，由此，同时测量出与所述种类数相同的数量的所述光学特性值。