[发明专利]基板传输装置及移动基板的方法有效
| 申请号： | 201280075737.9 | 申请日： | 2012-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104619619B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | R·林德伯格 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种传输装置，用于沿着传输方向进行基板传输且用于在沿着传输方向延伸的第一传输路径与第二传输路径间进行交换。第一传输路径在垂直于传输方向的转换方向中相对于第二传输路径移开。传输装置包括第一基板支撑组件，定义第一轨道以支撑腔体内的基板或基板载体。传输装置更包括第二基板支撑组件，定义第二轨道以支撑腔体内的基板或基板载体。第一基板支撑组件及第二基板支撑组件至少在转换方向中相对于彼此可移动。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 装置 移动 方法 | ||
【主权项】：
一种传输装置，用于沿着传输方向进行基板传输且用于在沿着所述传输方向延伸的第一传输路径与第二传输路径间进行交换，其中所述第一传输路径在转换方向中相对于所述第二传输路径移开，所述转换方向垂直于所述传输方向，所述传输装置包括：第一基板支撑组件，定义第一轨道，以在腔体内支撑基板或基板载体；以及第二基板支撑组件，定义第二轨道，以在所述腔体内支撑基板或基板载体，其中所述第一基板支撑组件及所述第二基板支撑组件至少在所述转换方向中相对于彼此可移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280075737.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：废气后处理装置
- 下一篇：内燃机和具有该内燃机的骑乘式车辆
