[发明专利]锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种新型锍盐和新型光产酸剂等，该锍盐对i射线具有高的感光性，该光产酸剂含有对i射线具有高的感光性、且与环氧化合物等阳离子聚合性化合物的相容性高、其配合物储存稳定性优异的锍盐。本发明涉及下述通式(1)表示的锍盐和以含有该锍盐为特征的光产酸剂等。〔式(1)中的R表示烷基或者芳基，R¹～R³相互独立地表示烷基、羟基、烷氧基、芳基、芳氧基、羟基(聚)亚烷氧基、氰基、硝基或者卤素原子。m¹～m³各自表示R¹～R³的个数，m¹表示0～4的整数，m²和m³表示0～5的整数，X^-表示一价的多原子阴离子〕。

主权项

一种由下述通式(1)表示的锍盐，式(1)中的R表示烷基或者芳基，R¹～R³相互独立地表示烷基、羟基、烷氧基、芳基、芳氧基、羟基(聚)亚烷氧基、氰基、硝基或者卤素原子，m¹～m³各自表示R¹～R³的个数，m¹表示0～4的整数，m²和m³表示0～5的整数，X^‑表示一价的多原子阴离子。