[发明专利]物品保管设备及物品保管方法

摘要

本发明提供一种物品保管设备及物品保管方法，物品保管设备包括：控制惰性气体供给部的流量调节装置的动作的控制装置；以及将多个惰性气体供给部中的一部分或者全部选择为特定供给部的特定供给部选择部。控制装置构成为，在收纳有搬运容器的收纳部的惰性气体供给部中使流量调节装置按照容器保管模式动作，容器保管模式是以预先确定的供给方式对搬运容器供给惰性气体的模式，并且构成为，在由特定供给部选择部选择的特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制流量调节装置的动作，特定供给部用供给模式是从惰性气体供给部的排出口以特定供给部用供给方式供给惰性气体的模式。

主权项

一种物品保管设备，包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；以及控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作，其特征在于，所述物品保管设备包括将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部的特定供给部选择部，所述控制装置构成为，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式，并且所述控制装置构成为，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式。