[发明专利]双层陶瓷坩埚无效
申请号: | 201310002053.2 | 申请日: | 2013-01-06 |
公开(公告)号: | CN103060908A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 郭宽新;邢国强 | 申请(专利权)人: | 奥特斯维能源(太仓)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种双层陶瓷坩埚,所述的双层陶瓷坩埚为内外双层结构,外层为碳化硅材料的多孔陶瓷结构,内层为氮化硅材料的陶瓷结构,所述的双层陶瓷坩埚由底面与侧边构成。本发明所述的坩埚通过外层为碳化硅材料的多孔陶瓷结构可以实现高的机械强度并且降低成本,内层采用氮化硅粉为原料附着在多孔碳化硅表面,形成陶瓷结构,保证坩埚内的硅料不被污染以及实现硅锭不与硅料,硅锭粘连,实现坩埚可以重复使用,有效的降低由于坩埚一次性消耗造成才成本,提高经济效益,适于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 双层 陶瓷 坩埚 | ||
【主权项】:
一种双层陶瓷坩埚,其特征在于:所述的双层陶瓷坩埚为内外双层结构,外层(2)为碳化硅材料的多孔陶瓷结构,内层(1)为氮化硅材料的陶瓷结构,所述的双层陶瓷坩埚由底面与侧边构成,所述的侧边垂直于底面。
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