[发明专利]超高纯六氟乙烷的制备方法有效
| 申请号： | 201310004328.6 | 申请日： | 2013-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN103910599B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 李盛姬;柳彩波;刘武灿 | 申请（专利权）人： | 中化蓝天集团有限公司;浙江蓝天环保高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C19/08 | 分类号： | C07C19/08;C07C17/389 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司33100 | 代理人： | 刘晓春 |
| 地址： | 310051 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种吸附法制备超高纯六氟乙烷的方法，采用选自3A型分子筛、4A型分子筛、5A型分子筛、NaX型分子筛、CaX型分子筛和活性炭中的一种、两种或三种以上组合的吸附剂脱除六氟乙烷粗品中的杂质，所述吸附剂在吸附前经活化处理。制备的六氟乙烷纯度可达99.999%甚至99.9999%及以上，制备的超高纯六氟乙烷可用作半导体/电子工业的刻蚀气体/清洗气体。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 乙烷 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超高纯六氟乙烷的制备方法，其特征在于采用选自3A型分子筛、4A型分子筛、5A型分子筛、NaX型分子筛和活性炭中的一种、两种或三种以上组合的吸附剂脱除六氟乙烷粗品中的杂质；所述吸附剂在使用前经活化处理，3A型分子筛、4A型分子筛、5A型分子筛和NaX型分子筛吸附剂在马弗炉中活化，活化温度为200～300℃，活性炭吸附剂在烘箱中活化，活化温度为120～180℃；所述六氟乙烷粗品中的杂质为CFC‑13、HFC‑23、CFC‑115、HFC‑125、HFC‑143a和HFC‑152a。
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