[发明专利]处理装置及测试装置有效
申请号: | 201310005092.8 | 申请日: | 2013-01-07 |
公开(公告)号: | CN103207329A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 堀野浩光;小野泽正贵 | 申请(专利权)人: | 爱德万测试株式会社 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人: | 齐永红 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供能够缩短测试时间的处理装置。是将多个被测试器件搬送到测试用插座上的处理装置,具有:测试部,设置有插座;加热部,搬送在表面上载置多个被测试器件的托盘,将多个被测试器件的温度控制成预先规定的测试温度,将托盘搬送到测试部;器件摄像部,其在加热部内,具有沿第1方向与被测试器件同数目排列的多个摄像元件,将多个摄像元件沿与第1方向不平行的第2方向,相对于托盘的表面作相对的移动,来拍摄各个被测试器件的图像;以及位置调整部,其基于器件摄像部拍摄到的各个被测试器件的图像,调整被测试器件对插座的位置。 | ||
搜索关键词: | 处理 装置 测试 | ||
【主权项】:
一种处理装置,是将多个被测试器件搬送到测试用插座上的处理装置,其具有:测试部,设置有所述插座;加热部,其搬送在表面上载置了所述多个被测试器件的托盘,将所述多个被测试器件的温度控制为预先规定的测试温度,并将所述托盘搬送到所述测试部;器件摄像部,在所述加热部内,具有沿第1方向排列与所述被测试器件同数目的多个摄像元件,沿与第1方向不平行的第2方向,相对于所述托盘的表面相对地移动所述多个摄像元件,来拍摄各个被测试器件的图像;以及位置调整部,其基于所述器件摄像部拍摄到的各个所述被测试器件的图像,调整所述被测试器件相对于所述插座的位置。
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