[发明专利]具有位置测量装置的多个扫描单元的装置

摘要

本发明涉及一种用于检测对象相对于基准系统的位置的装置。该对象在此至少沿两个正交的、第一和第二主运动轴线相对于基准系统可运动地布置。位置测量装置为了检测对象相对于基准系统的位置而包括至少两个、沿第一主运动轴线布置的、二维量具和四个用于光学地扫描这些量具的扫描单元。此外设有至少四个附加的扩展扫描单元，它们沿第一主运动轴线布置在四个扫描单元之间。

主权项

一种装置，具有‑对象（1；11），所述对象至少沿两个正交的、第一和第二主运动轴线（y，x）相对于基准系统能运动地布置，和‑用于检测所述对象（1；11）相对于所述基准系统的位置的位置测量装置，所述位置测量装置具有至少两个、沿所述第一主运动轴线（y）布置的、二维量具（2.1，2.2；12.1‑12.4）和四个用于光学地扫描所述量具（2.1，2.2；12.1‑12.4）的扫描单元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h），其特征在于，所述位置测量装置为了检测位置而包括至少四个附加的扩展扫描单元（1.2c‑1.2f；11.2c‑11.2f），所述扩展扫描单元沿所述第一主运动轴线（y）布置在所述四个扫描单元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）之间。