[发明专利]用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置有效
| 申请号： | 201310006315.2 | 申请日： | 2013-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN103078247A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 袁志军;张海波;周军;楼祺洪;魏运荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01S3/136 | 分类号： | H01S3/136;H01S3/13 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置，该装置由分光器、可调狭缝、高精度光谱仪、线宽反馈控制系统组成。本发明能对准分子激光器输出激光的线宽进行稳定的控制，具有使用方便、结构简单、对准分子激光器线宽连续调节的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 窄线宽 准分子激光 稳定 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置，其特征在于：该装置由分光器(1)、可调狭缝(2)、高精度光谱仪(3)、线宽反馈控制系统(4)组成，上述各部分的位置关系如下： 准分子激光器由耦合输出镜(7)、放电腔(8)、线宽压窄模块(9)组成，所述的分光器(1)置于所述的窄线宽准分子激光器的耦合输出镜(7)之外，所述的可调狭缝(2)置于所述的窄线宽准分子激光器中，所述的分光器(1)将输出的激光分为透射的第一光束(5)和反射的第二光束(6)，所述的第一光束(5)作为主要能量输出，第二光束(6)作为探测光入射到高精度光谱仪(3)，高精度光谱仪(3)实时测量到的激光线宽值由所述的线宽反馈控制系统(4)进行数据处理，根据计算结果相应调节所述的可调狭缝(2)的宽度，从而改变激光的线宽，最终实现激光线宽的稳定控制。
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