[发明专利]芯片上铁氧体磁珠电感器

摘要

一种具有原位芯片级铁氧体磁珠电感器的半导体结构及其形成方法。实施例包括：衬底；在衬底上形成的第一介电层；在第一介电层上形成的下铁氧体层；以及在结构中与下铁氧体层间隔分开的上铁氧体层。第一金属层可以形成在下铁氧体层上方，以及第二金属层可以形成在上铁氧体层下方，其中，至少第一或第二金属层具有包括多匝的线圈结构。至少一个第二介电层可以设置在第一和第二金属层之间。铁氧体磁珠电感器具有小形状因数并且适合于采用BEOL工艺形成。本发明提供了芯片上铁氧体磁珠电感器。

主权项

一种具有芯片级铁氧体磁珠电感器的半导体结构，包括：衬底；第一介电层，形成在所述衬底上；下铁氧体层和上铁氧体层，所述下铁氧体层形成在所述第一介电层上，所述上铁氧体层与所述下铁氧体层垂直间隔分开；第一金属层，形成在所述下铁氧体层上方；第二金属层，形成在所述上铁氧体层下方，其中，至少所述第一金属层或所述第二金属层具有线圈结构；以及至少一个第二介电层，设置在所述第一金属层和所述第二金属层之间。